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第八十二章 时间紧迫,提前囤积零件

第八十二章 时间紧迫,提前囤积零件 (第1/2页)

经过了一晚上的休息,隔天一早,林天就迫不及待地亲自前往龙芯国际操刀光掩膜版的生产制作。
  
  陈星与曲程没有急着离开魔都,而是共同前去观摩。
  
  他们都想看看,林天到底是不是那么全能。
  
  龙芯国际实验室内,已经聚集了大批抱着学习态度,前来观看的光刻工程师。
  
  面对数十位光刻工程师组成的围观学习人群,林天也没有半点怯场,眼神平静且专注,与前一天吊儿郎当的样子判若两人,轻车熟路地开始了光掩膜版的初步制作。
  
  光掩膜版的制作流程与芯片生产同理,同样要经过图形制作与转换、曝光、显影、蚀刻、脱模、清洗、缺陷检查、缺陷修补、出货清洗、贴膜十个主要步骤,但又与芯片生产不同。
  
  芯片生产,光刻机曝光,而光掩膜版可不能依靠光刻机曝光,而是需要用到激光/电子束直写方式对Blankmask(光掩膜版材料)进行曝光。
  
  当正性光刻胶被曝光后,化学结构发生变化,产生光酸,通过显影液作用,被曝光的部分光刻胶溶解,而负性光刻胶被曝光部分结构交联,生成不易溶稳定化学结构,再通过显影液作用,曝光部分得以保留。
  
  正所谓!
  
  行家一出手,便知有没有!
  
  林天前面步骤完全正确,没有半点外行的影子,而且过程行云流水,丝毫没有半点拖沓,像是一位经历过上万次光掩膜版制作的老手,一切都水到渠成。
  
  这也让高永明、唐鑫宇,以及一众围观的光刻工程师们打心底佩服,懂光刻机,懂掩膜版,这简直就是全能天才啊!
  
  在等待第一次流片的蚀刻空隙,龙芯国际的副首席工程师唐鑫宇搓了搓手,再也忍不住请教了:“打扰一下林工,驻波效应你有什么好办法解决吗?”
  
  驻波效应,在光刻过程中,会有一部分光被反射回来,这个反射的光和原来的入射光频率相同,会相互干涉,导致光阻层中光强度的分布不均,呈现出交替的亮暗区域,导致流片失败。
  
  如何有效削减驻波效应,一直是他们头疼的问题。
  
  林天移开锁定在设备上的目光,淡淡说道:“使用TARC,BARC等抗反射层材料,或者进行加热烘烤,用高温促进光敏剂的扩散,一定程度上弥补了光强分布不均的问题,在显影过程中可以得到更均匀的图案剖面。”
  
  声音不大,却传遍实验室。
  
  龙芯国际的工程师没有迟疑,立马掏出记事本记录。
  
  别看这位“林工”年轻,他在光刻领域的成就与造诣,早已经远超在场所有人。
  
  然而。
  
  就在这时。
  
  赶了最近一班飞机,连夜飞回来的冯承铭开口道:“如果用氧化铬做为抗反射层,也能消除大部分的驻波效应?”
  
  “嗯。”
  
  林天点了点头,脱口而出道:“用氧化铬做为抗反射层,厚度20纳米,可以有效解决驻波效应。”
  
  冯承铭:“为什么是20纳米?”
  
  “20纳米的厚度,已经可以解决大部分驻波效应,21纳米,用不上,19纳米不够用。”
  
  林天淡淡回答道。
  
  两人的一问一答,让默默观看的陈星惊叹,红色品质人才果然有点变态啊!
  
  舌战群儒,有问必答。
  
  “刚才说话的那个老头,就是龙芯国际的光刻首席。”曲程压低了几分音量介绍道。
  
  “原来是他。”
  
  陈星忍不住笑了笑,这位老爷子可太传奇了。
  
  吹个牛逼,把一群院士都唬住,如果能证实可以利用多重曝光技术实现14纳米芯片,那他吹的牛也算实现了。
  
  “制造光掩膜版的时间比较漫长,单次流片的时间都要1到3天,我建议陈总还是不要等了,公司可不能没有你。”
  
  曲程提了个醒道。
  
  单次要1到3天,经过林天推算,14纳米芯片掩膜版,一共要经历50次左右流片,才能最终进行封装使用。
  
  最快也要50天时间,这时间还真是紧迫啊。
  
  双十一是赶不上了,陈星只能寄托于双十二能见到14纳米轻舟处理器芯片的样品。
  
  哪怕只有一枚,也能组装出一台样板机,方便他后续召开新旗舰手机发布会。
  
  目睹完林天实力,再次认识到红色品质人才变态程度后,陈星也听从曲程的提议道:
  
  “嗯,既然流片时间这么漫长,那我今晚就准备先回深城了,曲老要一起吗?”
  
  “不了。”
  
  曲程摇了摇头,目光瞥向不远处的高永明道:“芯片设计有高首席和白衍,还有那群老家伙,我就在这里替你看着吧,免得高永明那小子挖伱墙角。”
  
  高永明:“……”
  
  这句话音量提高了不少,清晰地落入高永明耳中。
  
  挖墙脚?
  
  他是这样的人吗?
  
  虽然…确实…嗯…有亿点点想挖,但曲程说得也太直白了吧,他不要面子的啊?
  
  高永明眼角抽搐了两下,轻咳两声保证道:“放心吧陈总,我不是那样的人。”
  
  

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